| 항목 | CNC-3020J | CNC-4030J | CNC-5040J |
|---|---|---|---|
| 치수 (mm) (L×W×H) | 700×850×1650 | 800×900×1650 | 900×1050×1650 |
| 측정 범위 (mm) (X×Y×Z) | 300×200×200 | 400×300×200 | 500×400×200 |
| 측정 정확도 (μm) | 3+L/200 | 3+L/200 | 3+L/200 |
| 반복성 (μm) | 3 | 3 | 3 |
| 무게 (kg) | 300 | 380 | 450 |
| CCD | 일본 소니 CCD |
| 렌즈 | 고화질 줌 렌즈 / 연속 배율 0.7-5.0x |
| 배율 | 40-230X (참조용. 카메라 및 렌즈 구성에 따라 다름) |
| 광학 스케일 해상도 | X/Y/Z 축 0.0002mm (0.2μm) |
| 작동 거리 | 108mm |